据麦姆斯咨询报道，荷兰飞利浦工程解决方案（Philips Engineering Solutions）近日发布了Flex-to-rigid（F2R）平台，利用高度柔性且超薄的电气连接，通过集成电路（IC）技术构建任意3D形状的微器件或模块。

类似折纸微组装

【资料图】

F2R是一种高精度的微组装平台，包括具有嵌入式电气连接的柔性聚合物互连。由此，可以利用IC技术以极小的尺寸构建几乎任意3D形状。

F2R平台由飞利浦MEMS代工厂开发，以为智能导管和导丝的尖端提供复杂的电子成像功能。不过，F2R同样适用于集成多个电子元件的许多其他应用。

F2R平台如何实现

F2R平台始于晶圆级的普通硅工艺，具有功能元件的任意形状的微型硅岛通过能够弯曲的柔性、超薄电聚合物互连。这些互连在晶圆加工阶段构建。因此，F2R取代了多个组装步骤，以及其相应的成本和风险。

极致的柔性以及微米级的精度，使得F2R平台优势明显，或将终结标准的柔性箔技术。

为3D形状的微型化提供机遇

F2R平台为很多微型化挑战提供了解决方案。由于其柔性互连相比现有互连技术可以实现的最薄柔性器件还要薄5到10倍，因而支持高密度布线。

由此，F2R平台能够实现可用晶圆空间的创造性利用。用户可以考虑所有类型的3D形状，制造更小的硅岛，使更小的智能导管拥有更多、更好的功能。即使面对复杂的微制造器件，例如需要集成多个传感器的电子药丸，也可以利用F2R技术。

F2R平台应用

F2R是体内/体表设备的最佳解决方案。对于微型化、设备功能及性能都至关重要的应用，F2R平台提供了答案。F2R可以应对很多互连挑战，以及非常微型化的集成需求，例如折叠甚至卷曲的形状。

CMUT换能器

对于CMUT换能器应用，F2R平台可以让传感器和集成无源器件集成到硅岛上，无需进一步组装。

延伸阅读：《电容式微机械超声换能器（CMUT）期刊文献检索与分析-2022版》

生物MEMS（BioMEMS）

许多BioMEMS应用需要独特的几何形状，尤其是流体电气应用，F2R平台能够提供最优解。

光子学

在光子学应用中，F2R平台有潜力解决光子学系统的微组装以及复杂的几何形状挑战。

飞利浦MEMS代工和微器件组装厂提供“一站式”服务

飞利浦提供MEMS代工和微器件组装一站式服务，其合作伙伴通过一个对接窗口即可完成有效的沟通和项目处理。飞利浦MEMS代工和微器件组装实体位处荷兰埃因霍温5公里范围以内，其协作能力提供了非常独特的优势。通过飞利浦F2R平台，MEMS器件及微组装可以真正实现互相优化。